Насос турбомолекулярный – в чем отличия принципа работы прибора от функционирования диффузного оборудования

Насос турбомолекулярный может работать только, если на входе и выходе давление достигает определенного уровня. Для создания этих условий требуется еще один насос, снижающий давление и обеспечивающий функционирование главного агрегата. Без необходимых показателей работа устройства невозможна.

Содержание:

1. Турбомолекулярный вакуумный насос – принцип работы
2. Насос турбомолеклярный – детали, масло
3. Производители турбомолекулярных насосов КНР
4. Турбомолекулярные насосы Leybold, Edwards и другие европейские

Турбомолекулярный вакуумный насос – принцип работы

Турбомолекулярный вакуумный насос относится к приборам с высокой производительностью, надежностью и эффективностью. Агрегат способен быстро перекачивать газы.

Турбомолекулярный вакуумный насос

Устройства принцип работы основан на вращении диска с лопастями, который расположен внутри рабочей камеры. Через входной патрубок внутрь установки поступают молекулы газа. Скорость их движения увеличивается под влиянием лопастей. Постепенно газ сжимается и выходит через соответствующее отверстие. Этот процесс обеспечивается наличием дополнительного насоса.

Работа агрегата осуществляется за счет подвижных и неподвижных лопастей, расположенных на разных уровнях. Под влиянием подвижных лопастей молекулы газа направляются к стенкам установки.

На поверхности происходит скопление молекул, и их передвижение происходит с большей скоростью под влиянием движения лопастей.

Вакуумный насос турбомолекулярный встречается в горизонтально и вертикально направленном исполнении. Уровень производительности и действенность зависит от того, с какой скоростью двигается ротор. Влияют и геометрические особенности деталей.

Чтобы возле подшипника не скапливался конденсат от масла или воды, фланец агрегата направляют вниз.

Насос турбомолекулярный - детали, масло

Насос турбомолекулярный - детали, масло

Турбомолекулярные насосы (ТМН) состоит из таких элементов:

1. Ротора в виде металлической детали цилиндрической формы.
2. Статора, за счет которого вращается ротор.
3. Подшипников из нитрида силикона. Прочность материала обеспечивает устойчивость прибора к повреждениям. С их помощью оборудование функционирует без сбоев.

Благодаря сравнительно небольшому весу материалов и показателям плотности нагрузка на внутреннее напряжение, которое возникает под влиянием центробежных сил, снижается. За счет невысокого уровня трения деталей, срок службы агрегата длительный. Материал, из которого производят детали, устойчив к воздействию высоких температур. В подшипниках используется смазка твердого типа, поэтому насос функционирует длительное время и не нуждается в дополнительной профилактике.

Скорость откачки турбомолекулярного насоса позволяет использовать агрегат в процессе нанесения напыления на покрытия, в полупроводниковых механизмах и датчиках. Аппарат имеет много положительных сторон:

1. В рабочий объем не попадает ни капли масла.
2. Обладает способностью нагнетать сверхглубокий вакуум.
3. Может использоваться для перекачки газов крупного объема.
4. Подходит для работы с агрессивными и инертными газами.
5. Показатели рабочего давления могут колебаться в широком диапазоне.
6. Выдерживает резкие перепады давления.
7. Не требуют особого обслуживания.
8. Быстро и качественно перекачивают тяжелые газы.

Чтобы аппарат стабильно и бесперебойно функционировал, необходимо своевременно менять масло для турбомолекулярных насосов и контролировать состояние подшипников.

Если в устройстве присутствует отстойник для масла или циркулирующая система, необходимо проводить замену жидкости не реже раза в полгода или в случаях, когда смазочный материал обретет коричневый цвет.

Если масло в турбонасосе плотной консистенции, замену необходимо осуществлять раз в 6 месяцев. Подшипники можно использовать в течение 2-3 лет. Замена деталей и ремонт турбомолекулярных насосов должны осуществляться обученным персоналом, который может точно настроить высокоскоростной ротор.

Производители турбомолекулярных насосов КНР

Среди китайских производителей популярны турбомолекулярные насосы shimadzu, отличающиеся непревзойденной надежностью:

1. Способны функционировать без поломок в течение 10 лет.
2. Ротор на магнитных подшипниках, поэтому детали не изнашиваются, а в рабочий объем не попадают загрязнения.
3. Продолжают функционировать даже в случае попадания грязи, стружки и других частиц в откачиваемую среду.
4. Продолжает работать и в случае прорыва атмосферы.
5. Оснащен внутренней защитой от перепадов электроэнергии.
6. Каждое устройство проходит многочисленные проверки перед выпуском в продажу.

Не менее популярны и устройства KYKY. Постоянные исследования и широкие производственные возможности, позволили создать качественное оборудование. Изделия представлены на рынке всего мира. Они имеют такие особенности:

1. Позволяют получить безмасляный вакуум.
2. Можно менять подшипники, уплотнения, консистентную смазку.
3. Есть возможность применения керамических подшипников.
4. Поставку осуществляют совместно с контроллером, поэтому агрегат сразу будет готов к эксплуатации.

Конкуренцию китайской продукции составляют аппараты Ebara от японского производителя. Фирма занимается изготовлением турбин и насосов, применяемых на производствах. Во всем мире известны турбокомпрессорные холодильные агрегаты компании и аммиачные холодильные установки. Среди товаров компании встречаются модели для решения задач всех типов.

Турбомолекулярные насосы Leybold, Edwards и другие европейские

Европейские и американские производители предлагают покупателям свои устройства с уникальными отличиями друг от друга.

Турбомолекулярные насосы Edwards

Известны во всем мире компании:

1. Edwards.
2. Leybold.

Турбомолекулярные насосы Edwards подходят для эксплуатации в разных сферах. Ими пользуются в микроэлектронике, плазменном травлении, ионной имплантации, напылении пленок, а также вместе с приборами научного пользования.

Устройства компании эффективно работают благодаря магнитным подвескам или керамическим шариковым подшипникам.

Турбомолекулярные насосы Leybold предназначены для использования в случаях, когда требуется чистый высокий и сверхвысокий вакуум. Это продукция германского производителя, подходящая для использования в течеискании, электронно-лучевой микроскопии, масс-спектрографии, высоковакуумных испытательных камерах. Также агрегаты применяют в напылительных установках, в ускорителях заряженных частиц, производстве полупроводников и в вакуумных печах.

Используя турбомолекулярный насос, расчет следует делать на качество моделей. Если необходимо определиться с конкретной серией товаров компании Leybold, то стоит изучить особенности устройств:

• hipace 300. Это компактные и мощные агрегаты, отличающиеся повышенной скоростью откачки. Конструкция основана на гибридном подвесе ротора. В составе аппарата подшипники из керамики;
• турбомолекулярный насос ТМН 010в3500. Прибор отличается быстрым действием по воздуху, с которым не пользуются предохранительной сеткой. Период разгона агрегата составляет 1800 сек. Вес прибора совместно с блоком питания составляет 180 кг;
• next240d относится к гибридным турбомолекулярным агрегатам с использованием магнитного верхнего подшипника. В качестве нижнего подшипника установлен керамический, который в случае неисправности легко заменить, процедура займет не более пяти минут. Конструкция оснащена контроллером, поэтому не потребляет много энергии.

Еще одна популярная фирма Calpeda успешно занимается производством насосов. Компания изготовляет товар с использованием заводских мощностей и научно-исследовательской базы. В итоге удается получить максимально надежную и высоко технологичную продукцию. Каждый агрегат отличается производительностью, набором дополнительных элементов. В ассортименте аппараты для отопления, канализации и другого оборудования.

Турбомолекулярные насосы Agilent – это продукция американской компании с высокими показателями скорости и качеством вакуумной откачки, а также повышенным коэффициентом сжатия легких газов. Каждое изделие отличается способностью работать при чрезмерной газовой нагрузке. Аппараты компактные, простые в обслуживании эксплуатации.

Чем диффузный насос отличается от турбомолекулярного насоса, определить не трудно. Разница в конструкции и принципе действия. Турбомолекулярное устройство относится к механическим установкам, так как состоит из ротора с лопастями и статора. Диффузные агрегаты являются установками необъемного типа, так как в нем нет функций механического типа. При выборе прибора следует учитывать эти особенности, так как может отличаться и конечный результат.