| Вход и выход |
| Диапазон измерения, мбар |
| Категория |
| Катод | Одиночный/двойной катод, U-образный тип, иттрий покрытый иридием или двойной вольфрам |
| Модель |
| Назначение |
| Относительная погрешность |
| Серия |
| Температура отжига, °C |
| Тип |
| Тип сенсора |
| Страна |
| Производитель |
