| Время отклика, мс |
| Вход и выход |
| Диапазон показаний, торр |
| Категория |
| Максимальное давление, атм |
| Модель |
| Назначение |
| Серия |
| Температура отжига, °C | 250 (для датчиков с фланцами CF) |
| Температурный режим, °С |
| Тип |
| Тип сенсора |
| Точность | +/- 1 мТорр при 1-10 мТорр, +/- 10% при 10-1000 мТорр, +/- 20% при 50 – 120 Торр, +/- 10% при 120 – 1000 Торр |
| Страна |
| Производитель |
